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东方晶源PanGen平台再添新产品 强化计算光刻硬实力

引言:在现代芯片制造工艺中,光刻是非常重要的一个步骤,其过程采用类似照相机的原理,光刻机发出的光通过具有图形的掩模版在晶圆上进行曝光成像,从而实现将电路图转印到晶圆上。...